二、技术参数特征

1、本设备系统主要由主体腔室（反应腔）、冷却循环系统、气路系统和温度控制系统（带程序控制）四个主体部分组成。

2、装置能够实现器件或其他材料在真空或气氛条件下的加热反应，其中样品尺寸大小可为φ5mm的圆片或粉末；

3、装置采用环境场加热方式对样品中心处进行加热，保证样品处的温度均匀；

4、加热腔体的温度调节范围：RT-500℃，控制精度±1℃，采用程序控温；

5、主体腔室的透射窗口尺寸为φ3mm，在装置顶部位置，窗口材质选用蓝宝石；

6、主体腔室配备了气路接头，通过外接真空泵组可实现装置的真空处理（机械泵的真空处理），并保证整个气体腔体密封性良好，不漏气，也可通过气路系统外接（1MPa以内）或低真空环境；

8、主体腔室外壳设有水冷层，配备冷却水循环机保证腔体外表面温度低于60℃；

9、原位测试装置设置了≥10mm的工作距离，满足一般拉曼光谱仪表征所需的工作距离要求。